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ÖNORM EN ISO 14644-3

Ausgabedatum: 2020 08 01

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 3: Prüfverfahren (ISO 14644-3:2019, korrigierte Fassung 2020-06)

Dieses Dokument umfasst Prüfverfahren zur Unterstützung des Betriebs für Reinräume und reine Bereiche, im Hinblick auf die Erfüllung von Luftreinheitsklassifizierungen, w...
Gültig
Herausgeber:
Austrian Standards International
Format:
Digital | 69 Seiten
Sprache:
Deutsch | Englisch | Download DE/EN
Standards mitgestalten:
Dieses Dokument umfasst Prüfverfahren zur Unterstützung des Betriebs für Reinräume und reine Bereiche, im Hinblick auf die Erfüllung von Luftreinheitsklassifizierungen, weiteren Reinheitsattributen und zugehörigen geregelten Bedingungen. Es werden Leistungsprüfungen für zwei Arten von Reinräumen und reinen Bereichen festgelegt, solche mit turbulenzarmer Verdrängungsströmung und solche mit turbulenter Mischströmung. Es werden drei Betriebszustände betrachtet: Bereitstellung, Leerlauf, Fertigung. Die Prüfverfahren, empfohlene Prüfgeräte und Prüfverfahren zur Bestimmung von Kenngrößen für die Leistung werden angegeben. An Stellen, an denen das Prüfverfahren durch die Art des Reinraums oder reinen Bereichs beeinflusst wird, werden alternative Verfahren vorgeschlagen. Für einige Prüfungen werden mehrere unterschiedliche Verfahren und Geräte empfohlen, so dass verschiedenen Nutzungsarten Rechnung getragen werden kann. Soweit zwischen Kunden und Lieferanten vereinbart, können alternative, nicht in diesem Dokument beschriebene Verfahren angewendet werden. Solche Verfahren liefern nicht zwingend gleichwertige Messungen. Dieses Dokument ist nicht auf die Messung von Produkten oder Prozessen in Reinräumen, reinen Bereichen oder SD-Modulen anwendbar.
ÖNORM EN ISO 14644-3
2020 08 01
Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 3: Prüfverfahren (ISO 14644-3:2019, korrigierte Fas...
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Ausgabedatum : 2019 08 30
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 3: Test methods (Corrected version 2020-06)