ÖNORM EN ISO 4518

Dieses Dokument legt ein Verfahren zur Messung der Schichtdicke von metallischen Überzügen fest, wobei zunächst eine Stufe zwischen der Oberfläche des Überzugs und der Oberfläche seines Grundwerkstoffs gebildet und anschließend deren Höhe mit einem Profilaufzeichnungsgerät gemessen wird. Es behandelt die Eigenschaften der Einrichtung sowie die für die spezifische Anwendung der profilometrischen Verfahren geeignete Durchführung. Das Verfahren ist für die Schichtdickenmessung von metallischen Überzügen von 0,01 µm bis 1 000 µm auf ebenen Oberflächen und, bei Berücksichtigung geeigneter Maßnahmen, auf zylindrischen Oberflächen anwendbar. Es ist besonders zur Messung kleinster Dicken geeignet, bei Dicken von weniger als 0,01 µm sind die Einflüsse der Ebenheit und Glätte allerdings sehr kritisch. Daher ist das Verfahren nicht für die Anwendung im untersten Messbereich geeignet, der für elektronische Tastschnittgeräte üblich ist. Das Verfahren ist anwendbar bei Schichtdickenmessungen, die als Schichtdicken-Referenzproben vorbereitet werden.